Bei einem Rasterelektronen-Mikroskop wird die Oberfläche eines Werkstückes zeilenweise mit einem
nur wenige Nanometer durchmessenden Elektronenstrahl abgetastet. So können winzige Details sichtbar gemacht
werden. Mittels EDX- und WDX-Röntgenanalyse (energie- und wellenlängendispersive Röntgenanalyse)
kann zudem die Elementverteilung bestimmt werden.
Die Messungen finden — je nach Material und Anforderung — im Vakuum (Mittel- bis Hochvakuum)
oder bei Atmosphärendruck statt. Metallische Werkstoffe werden vor allem im Vakuum untersucht. Nicht-leitende
Objekte können bei uns klassisch mit einer nur wenige Atomlagen starken Goldschicht bedampf werden (sputtern).
Seit Kurzem verfügt mpl für die Analyse von nichtleitenden Objekten, z. B. Keramiken, Kunststoffen,
organischen Materialien, u.ä. ein ESEM
Die nebenstehende Galerie zeigt eininige Anwendungsfotos von Bruchanalysen, Oberflächenanalysen von Granit,
Spektren und Aufnahmen mit Rückstreuelektronen, durch die anschaulich die Elementverteilung in einem
Werkstück gezeigt werden kann.